Подложки и пластины для выращивания HTSC пленок.
Предлагаются монокристаллические пластины MgO, SrTiO3 (STO), LSAT, MgAl2O4 (шпинель), LaAlO3, LaSrAlO4, YAlO3 (YAP), KTaO3 и YSZ для высокотемпературного сверхпроводника (HTSC), все пластины имеют готовую упаковку EPI, предлагаются различные складские и стандартные пластины SAW.
Подложки MgAl2O4.
- Доступны подложки из MaAl2O4 (или шпинели) со склада и по индивидуальному заказу.
- Максимальный диаметр: 2 дюйма, типичная толщина 0,5/1,0 мм.
- Шероховатость поверхности: Ra <0,5 нм
- Чистая упаковка: чистая комната класса 1000 и мешки класса 100
- Ориентация подложек MgAl2O4: <100＞, <110＞, <111＞
- Области применения: эпитаксиальный рост тонких пленок в устройствах сегнетоэлектриков и высокотемпературных сверхпроводников (HTS), выращивание высококачественных пленок GaN, устройства нитридов III-V, объемные акустические волны и микроволновые устройства.
Описание:
Монокристаллы алюмината магния (MgAl2O4 или шпинель) широко используются для объемных акустических волн и микроволновых устройств и эпитаксиальных подложек быстрых IC. Также установлено, что MgAl2O4 является хорошей подложкой для устройств на основе нитридов III-V. Шпинель (MgAl2O4) является одним из кандидатов на такую подложку для GaN LDs. Кристаллографическая структура MgAl2O4 относится к типу шпинели (Fd3m), а постоянная решетки составляет 8,083 A. MgAl2O4- относительно недорогой материал подложки, который был успешно применен для роста высококачественных пленок GaN. MgAl2O4 расщеплен в плоскости (100). Полости GaN LD были получены простым расщеплением подложек MgAl2O4 вдоль направления (100), что также хорошо подходит для ZnO. Кристалл MgAl2O4 очень трудно вырастить из-за сложности сохранения однофазной структуры.
Общие характеристики:
|
Материал |
Кристаллы MgAl2O4 |
Ориентация |
<100>, <110>, <111> |
|
Ошибка ориентации |
±0,5° |
Максимальный диаметр |
20мм |
|
Типичная толщина |
0,5 мм, 1,0 мм |
Допуск по толщине |
±0,05 мм |
|
Допуск размера |
±0,1 мм |
Чистота поверхности |
SSP или DSP |
|
Шероховатость |
Ra <0,5нм |
Чистота и упаковка |
Чистая комната класса 1000, мешки класса 100 |
Физические свойства:
|
Кристальная структура |
Кубический: а = 8,083 Å |
Метод роста |
Чохральский |
|
Плотность |
3,64 г/см3 |
Точка плавления |
2130℃ |
|
Tвердость |
8,0 (Моc) |
Термическое расширение |
7,45 (x10-6 /℃) |
|
Фазовая скорость |
6500 м/с при (100> поперечной волне) |
Потери при распространении |
6,5 дБ/мс |
|
Типичное направление роста |
<100> и <110> |
Цвет |
Бесцветный |
|
Диэлектрическая постоянная |
8-9 |
Продукция:
|
Артикул |
Размер |
Толщина |
Ориентация |
Отделка поверхности |
|
644-001 |
5x5 мм |
0,5 мм |
<100> |
SSP |
|
644-002 |
5x5 мм |
0,5 мм |
<100> |
DSP |
|
644-003 |
5x5 мм |
0,5 мм |
<110> |
SSP |
|
644-004 |
5x5 мм |
0,5 мм |
<111> |
SSP |
|
644-005 |
10x10 мм |
0,5 мм |
<100> |
SSP |
|
644-006 |
10x10 мм |
0,5 мм |
<100> |
DSP |
|
644-007 |
10x10 мм |
0,5 мм |
<110> |
SSP |
|
644-008 |
10x10 мм |
0,5 мм |
<111> |
SSP |
|
644-009 |
φ12,7 мм |
0,5 мм |
<100> |
SSP |
|
644-010 |
φ12,7 мм |
0,5 мм |
<100> |
DSP |
|
644-011 |
φ25,4 мм |
0,5 мм |
<100> |
SSP |
|
644-012 |
φ25,4 мм |
0,5 мм |
<100> |
DSP |
|
644-013 |
φ 50,8 мм |
0,5 мм |
<100> |
SSP |
|
644-014 |
φ 50,8 мм |
0,5 мм |
<100> |
DSP |
JoomShopping Download & Support
