Суперполированные подложки и зеркала

Оптические компоненты.

Оптические компоненты представляют собой простые оптические элементы для построения оптических систем, выполняющие функции фокусировки, фильтрации, отражения и поляризации света. Оптические системы используются в самых разных областях, таких как визуализация, микроскопия, тестирование и производство для промышленности, медицины, биологических наук, связи и т.д. Для улучшения характеристик оптических элементов часто выбирают подложки из определенных материалов и тонкопленочные покрытия.

Photonics Cloud является поставщиком готовых и таможенных оптических продуктов, предлагает оптические линзы, окна, зеркала, призмы и оптические фильтры, поляризаторы, светоделители, волновые пластины. Оптические линзы используются для фокусировки или рассеивания света, оптические призмы предназначены для разделения или изменения пути света, а оптические окна используются для защиты чувствительных элементов от внешней среды. Также предлагается высокоточная оптика суперполировки и лазерная оптика, сапфировая оптика, оптика серии машин IPL.

Суперполированная оптика.

В некоторых приложениях, таких как лазеры глубокого ультрафиолета (DUV), мощные лазеры, кольцевые лазерные гироскопы и фемтосекундные лазеры, используемые оптические компоненты должны иметь минимальное рассеяние, чтобы снизить потери в лазерных системах, эти оптические компоненты должны иметь ультранизкую шероховатость поверхности, они называются "суперполированной" оптикой.

Photonics Cloud предлагает суперполированные оптические компоненты, изготовленные из материалов подложки UV плавленого кварца, BK7, сапфира, ZnSe, YAG и т.д. В компании разработана уникальная технология классической полировки для изготовления суперполированной оптики, при которой можно получить шероховатость <1Å, высокую плоскостность и качество поверхности. Предлагаются суперполированные линзы, окна и зеркала, а также полированные подложки.

Суперполированные подложки и зеркала.

• Различные материалы подложки: BK7, УФ-плавленый кварц, Zerodur, ZnSe, ZnS, Ge, Si, CaF2, MgF2 и сапфир.
• Уникальная техника полировки, разработанная на основе классического метода полировки
• Шероховатость поверхности до 1Å
• ДоступныпокрытиеHigh Reflection (HR) и Anti-reflection (AR)
• Области применения: лазеры DUV, мощные лазеры, гироскопы

Описание:

Для некоторых требовательных приложений, таких как лазеры DUV (глубокого ультрафиолета), лазерные системы сверхвысокой мощности и кольцевые лазерные гироскопы, высокое отражение и низкие потери на рассеяние зеркал являются одной из наиболее необходимых и критических точек, где подложки с микрошероховатостью необходимы для производства зеркал, обладающих требуемыми качествами. 

Техника суперполировки — это технология изготовления, часто используемая для изготовления суперполированных подложек зеркал для оптических приложений. Компания разработала эффективную и надежную технику суперполировки, изменив классический метод суперполировки. Оптические подложки или зеркала, изготовленные по нашей технологии, имеют шероховатость менее 1Å в больших производственных масштабах и гарантируют быструю доставку для наших клиентов. Наш инспекционный отдел использует систему измерения шероховатости Atom Force и прибор для измерения интерференционной плоскостности Zygo, где мы осуществляем строгий и стандартный контроль качества. В дополнение к зеркалам для кольцевых гироскопов доступны различные суперполированные зеркальные подложки из различных материалов, включая BK7, УФ-плавленый кварц, Zerodur, ZnSe, ZnS, Ge, Si, CaF2, MgF2 и сапфир.

Хотя метод магнитореологической (MR) жидкостной полировки (при котором оптические поверхности полируются в управляемой компьютером магнитореологической отделочной суспензии) кажется многообещающим подходом к получению отделки с чрезвычайно низкой шероховатостью при изготовлении оптики, его высокая стоимость и низкая производительность делают его неэффективным. непрактично для промышленного применения. Поэтому большая часть суперполированной оптики изготавливается обычными и классическими методами полировки. Уникальная модификация классической техники полировки разработана компанией для производства суперполированных зеркал и зеркальных подложек. В процедуре обработки смоляные пластины конфигурируются как монтажный инструмент. Photonics Cloud способен создавать суперполированные зеркальные и зеркальные подложки с шероховатостью <1Å, 0/0 царапин/выемок в центральной области.

Результаты проверки:

1. Осмотр атомно-силового микроскопа

Фигура 1. Шероховатость суперполированной поверхности, измеренная с помощью атомно-силового микроскопа (АСМ)

(подложка из плавленого кварца диаметром 200 мм, Ra=0,28 нм)

    2. Проверка интерферометра Zygo

Измерение плоскостности сверхполированной поверхности с помощью интерферометра Zygo

(Подложка из плавленого кварца диаметром 300 мм, PV = 0,101 волны при 633 нм)

Характеристики: